采用高精密度膜厚度測(cè)定儀，以0.1人一1人/秒慢速度進(jìn)行蒸汽沉積，就可能在垂直方向以原子水平合成可控制結(jié)構(gòu)物質(zhì)。特別對(duì)于不同成分的薄膜開關(guān)能以不到幾十人厚度進(jìn)行有規(guī)則堆積的多層化物質(zhì)，從而能得到按人為規(guī)律設(shè)計(jì)的物質(zhì)—人造晶格物質(zhì)。人造晶格與半導(dǎo)體電子工業(yè)有著密切關(guān)系，曾利用分子束外延法等進(jìn)行研究，十分活躍。采用真空蒸汽沉法也可制成人工晶格膜.